■体裁:B5判、208頁
■発刊:1992年7月
■ISBNコード:
※オンデマンド印刷版となります為、掲載画像とお届けする商品の表紙デザインは異なります。ご了承ください。
なお、本文内容の変更はございません。

【編集委員】
菅原實 群馬大学

【執筆者】
菅原實 群馬大学
半田栄、藤中裕義 東京エレクト ロン
木下治久 静岡大学
鵜飼勝三 日電アネルバ
岡田 隆 日電アネルバ

※執筆者の所属等は、刊行当時のものです。

【概要】
半導体デバイスのキイテクノロジーとして,ドライエッチングがウエットエッチングに代わって登場してから約20年になる。その間の加工精度の向上は驚くべきものである。例えば,加工線幅は当初10μm程度だったのが現在では0.1μmに達し,約100文の1の加工が可能になっている。この先,どの程度まで進むのか,予測もできない。
これらのエッチング技術の現在までの隆盛は,低気圧放電を利用した,低温プラズマの応用によるものである。また,低温プラズマ以外に,光プロセス,集束イオンビーム利用なども話題になった時期もあったが,いまだ実用にはなっていない。
さて,この低温プラズマを用いたエッチング技術にも,多少の問題点はある。また,加工線幅の向上のためにもプラズマの性質とエッチングとの物理的相関の問題がある。本来,放電は制御性がきわめて悪く,統計的な性質をさえ示している。
この本では,放電物理的側面からエッチングプロセスをとらえることに注意を払いながら,エッチング装置の動作を解析するように心掛けたつもりである。本書を執筆するに当たり,緊密な連携に心掛けたが,全体を通して統一のとれない表現があったりして,読者にご迷惑をおかけすることがあるかも知れません。その点おゆるし願いたい。
最後に,本書の刊行の機会をお与え下さった?リアライズ社,村川順之社長,直接ご担当いただいた畑井耕次氏,また,校正などで大変お心配りいただいた土信田裕子さんに心からお礼申し上げます。

【目次】

Chapter 1 RFICシステムの概要　　　
1. RFIDシステム　　　
1.1 RFIDの概要　　　
1.2 RFIDの特徴　　　
1.3 RFIDの歴史　　　
1.4 RFIDの構造　　　
2. RFIDタグの種類と分類　　　
2.1 用途による分類　　　
2.2 周波数による分類　　　
2.3 駆動方式による分類　　　
2.4 形状による分類　　　
2.5 通信方式による分類　　　
2.5.1 3.56 MHz帯無線ICタグの種類　　　
2.5.2 符号化方式　　　
2.5.3 変調方式　　　
2.6 RFIDシステムの法規　　　
3. RFIDタグ用アンテナ設計のポイント　　　

Chapter 2 電磁誘導方式アンテナの設計　　　
1. アンテナの基本設計　　　
1.1 動作周波数と動作電圧　　　
1.2 ループ面積と巻き数の求め方　　　
1.3 抵抗分Rの求め方　　　
1.4 インダクタンス分「L」の求め方　　　
1.5 結合係数「k」の求め方　　　
1.6 線間結合容量「C」の求め方　　　
1.7 アンテナの動作周波数　　　
1.8 各種パラメータの最適化　　　
2. 応用事例　　　

Chapter 3 UHF帯アンテナの設計　　　
1. アンテナの基本設計　　　
2. RFIDタグでの受信電力　　　
3. 応用設計　　　
4. 解析事例　　　
5. まとめ

Chapter 4 無線IC用アンテナの測定　　　
1. 測定項目　　　
2. 入力インピーダンスの測定　　　
3. 放射特性の測定　　　
4. 磁界分布の測定　　　
5. 人体の影響　　　
6. まとめ