■体裁:B5判/163ページ
■発刊:1989/02/28
■ISBNコード:

【監修】
大見忠弘、新田雄久

【目次】

<第2編ウエットプロセス技術>　　　
第1章　超純水及びプロセス技術　　
第1節　超純水の評価　　　
　I　精密抵抗率測定　　
　　　1.　まえがき
　　　2.　超純水の特性
　　　3.　精密抵抗率測定
　　　4.　抵抗率計
　　　5.　精密抵抗率測定例
　　　6.　むすび
　II　超微粒子計測装置(Nanolyzer)　　
　　　まえがき
　　　1.　超純水製造システム
　　　2.　超純水の要求水質
　　　3.　微粒子計測技術
　　　4.　レーザー散乱法による超微粒子計測装置
　　　5.　測定例
　　　6.　超純水プロセスでの設置例と測定例
　　　7.　特長
　　　むすび
　III　全蒸発残査計測　　
　　　緒言
　　　1.　超純水の水質評価の新たな概念
　　　2.　微量蒸発残留不純物計測技術
　　　3.　実験装置と方法
　　　4.　実験結果と考察
　　　5.　水質評価への適用
　　　緒言
　IV　HIGHPURE MONITOR-全蒸発残　測定器-　　
　　　1.　はじめに
　　　2.　測定原理
　　　3.　仕様
　　　4.　本体外観・パネル説明
　　　5.　本器のソフトウェア機能
　　　HPMによる測定データ
第2節　配管材料　　　
　I　超純水用配管材料　　
　　　1.　まえがき
　　　2.　超純水用配管材と一般物性
　　　3.　超純水用配管材とSEM観察
　　　4.　短管封水試験
　　　5.　配管系における抵抗率測定
　　　6.　超純水配管系での生菌挙動
　　　7.　むすび
　II　超純水用配管材料としての電解研摩ステンレス鋼管-エクセルクリーンEPパイプ
-　　
　　　まえがき
　　　1.　製造工程
　　　2.　内面平滑度
　　　3.　超純水中への溶出挙動
　　　4.　電解研摩チタン管の溶出挙動
　　　むすび

第2章　超高純度薬品及びプロセス技術　　　
　1.　ウエハ表面吸着分子分析　　
　　　1.　まえがき
　　　2.　実験装置及び方法
　　　3.　実験結果及び考察
　　　4.　むすび
　2.　機能制御されたバッファードフッ酸　　
　　　1.　はじめに
　　　2.　表面処理剤としての機能評価
　　　3.　シリコンウエハ上での機能評価
　3.　パーティクルフリー洗浄・乾燥技術　　
　　　1.　まえがき
　　　2.　洗浄方法の検討
　　　3.　希フッ酸洗浄におけるパーティクルの増加
　　　4.　高純度有機溶剤による乾燥
　　　5.　パーティクルフリー乾燥技術
　　　6.　高性能蒸気乾燥装置
　　　7.　むすび