■発行:サイペック
■体裁:B5判/295ページ
■発刊:1990/02/28
■ISBNコード:

【監修】
大見忠弘、新田雄久

【目次】

<第4編クリーンルーム付帯設備の高度化>　　　
第1章　トータルクリーンルームシステム　　　
第1節　スーパークリーンルームの空調除塵システム　　　
　1.　はじめに　　
　2.　空調除塵気流制御方式　　
　　　2.1　全量ダクトリターン方式
　　　2.2　ローカルリターン方式
　　　2.3　全面垂直層流のための気流制御
　3.　クリーンルームの形式　　
　　　3.1　側壁リターン方式
　　　3.2　Raised Floor方式
　4.　クリーンルームの省エネルギー運動方法　　
　5.　サービスエリア垂直層流方式　　
　6.　むすび　　
第2章　クリーンルーム要素技術　　　
第1節　空調除塵システム　　　
　1.　はじめに　　
　2.　清浄度に応じたクリーンルーム構造とその効果的利用法　　
　3.　臨海地における防除塩空調　　
　　　3.1　防除塩空調システムの開発
　　　3.2　海塩濃度モニタリングシステム
　　　3.3　量産工場への適用
　　　3.4　防除塩に対する考え方
　4.　省エネルギーから見た最適空調システム　　
　5.　むすび　　
第2節　冷却水システム　　　
　1.　はじめに　　
　2.　装置冷却方法　　
　3.　冷却水配管システム　　
　4.　送水動力の低減対策　　
　5.　装置冷却システムにおける振動対策　　
　6.　真空ポンプの水冷化(実施例)　　
　7.　装置冷却水システムの省エネ化　　
　8.　冷却水システムの設計概念　　
　9.　むすび　　
第3節　排ガス処理システム　　　
第3節-a　塩素系有機溶剤処理システム　　　
　1.　はじめに　　
　2.　有機塩素系溶剤を取り巻く環境　　
　　　2.1　有機塩素系溶剤の生体影響
　　　2.2　有機塩素系溶剤の法規制
　　　2.3　半導体製造工場における処理状況
　　　2.4　排ガスの一般的処理方法
　　　2.5　排水の一般的な処理方法
　3.　光分解法による排水処理方法　　
　　　3.1　基本原理
　　　3.2　テストデータと評価
　4.　実装置の概要　　
　5.　むすび　　
第3節-b　特殊ガス　　　
　I 乾式排ガス処理方法　　
　1.　はじめに　　
　2.　処理対象ガス　　
　3.　処理対象プロセス　　
　4.　プロセス排ガスの除害　　
　　　4.1　フローシート
　　　4.2　パイオクリンカートリッジの特長
　　　4.3　活性テスト
　　　4.4　パイオクリンカートリッジ
　　　4.5　排ガス処理装置
　　　4.6　オプション
　5.　緊急保安装置　　
　　　5.1　特長
　　　5.2　処理対象ガス
　　　5.3　処理能力
　　　5.4　使用例
　　　5.5　パイオクリン緊急保安装置実機テスト
　　　5.6　処理条件
　　　5.7　緊急保安装置
　6.　むすび　　
第3節-b　特殊ガス　　　
　II ウエット式排ガス処理システム　　
　1.　はじめに　　
　2.　工場全体の排ガス系統　　
　3.　特殊排ガス　　
　　　3.1　排出系統と処理方法
　　　3.2　CVD装置排ガス例
　　　3.3　排ガス出口濃度
　　　3.4　排ガス規制及び排ガス測定について
　4.　アンモニアガス(NH3), ジクロルシラン(SiH2Cl2), 及びモノシランガス
(SiH4)の除害実験　　
　　　4.1　実験装置及び実験方法
　　　4.2　NH3ガスの吸収実験
　　　4.3　ジクロルシランガス(SiH2Cl2)の除害実験
　　　4.4　モノシランガスSiH4の除害実験
　　　4.5　ガス吸収式による吸収速さの推測
　5.　シラン系排ガス処理について　　
　　　5.1　吸収反応速度
　　　5.2　SiO2の生成反応
　　　5.3　安全性について
　　　5.4　パイプの閉塞
　6.　塩素(Cl2)の吸収実験　　
　　　6.1　装置の概要
　　　6.2　実験方法
　　　6.3　実験結果について
　7.　NOx排ガス処理　　
　　　7.1　NOx処理方法の大別
　　　7.2　NO2ガスのアルカリ吸収実験
　　　7.3　日曹式NOxガス処理法
　8.　むすび　　
第4節　磁場対策　　　
　1.　はじめに　　
　2.　電磁障害の概要　　
　3.　磁場障害　　
　4.　磁場対策の基本と遮蔽材の特性　　
　5.　実際の磁場対策　　
　　　5.1　直流磁場対策(地磁気)
　　　5.2　交流磁場
　6.　むすび　　
第5節　伝達関数法による構造物の微振動制御　　　
　1.　はじめに　　
　2.　伝達関数法の概要　　
　　　2.1　振動伝達関数
　　　2.2　アクセレランス
　　　2.3　振動性状の表示法
　3.　人歩行の加振力スペクトル　　
　4.　嫌振機器用独立基礎の振動特性　　
　　　4.1　建物と地盤の振動比較
　　　4.2　独立基礎の長所
　5.　建築物中の振動伝達特性　　
　　　5.1　振動伝達特性の実測例
　　　5.2　振動伝達特性の用途
　　　5.3　振動伝達特性の定量化
　6.　伝達関数法を用いた微振動対策の実例　　
　　　6.1　防振設計検討フロー
　　　6.2　演算手順
　　　6.3　嫌振領域と機械室の位置と機器リスト
　　　6.4　機器設備床のアクセレランス
　　　6.5　加振力の実測例
　　　6.6　アセスメントシート
　　　6.7　検証測定例
　7.　むすび　　
第6節　クリーンルームの気流調整の要点　　　
　1.　適切な気流形状とは何か　　
　　　1.1　適正気流の基本条件
　　　1.2　適正気流を維持する要点
　2.　ダウンフロークリーンルームで起き易い偏流と対策　　
　　　2.1　良好なダウンフロークリーンルームの気流形状
　　　2.2　大規模なダウンフロークリーンルームで起き易い偏流
　3.　ダクト内の空気流の特性　　
　　　3.1　静圧, 動圧, 全圧の特性
　　　3.2　正圧と負圧
　　　3.3　吹出しと吸込みの特性の相違
　　　3.4　層流型クリーンルームの圧力分布
　4.　ダウンフロークリーンルームの気流調整の要点　　
　　　4.1　ダウンフロークリーンルームの偏流発生例
　　　4.2　気流調整方法
　5.　トンネル式クリーンルームの気流調整の要点　　
　　　5.1　トンネル内気流形状の基本条件
　　　5.2　トンネル式クリーンルームの偏流発生例
　　　5.3　トンネル式クリーンルームの気流調整方法
　6.　製造域, サービス域, その他区域の正圧度　　
　7.　ダウンフローの適正風速　　
　8.　むすび　　
第7節　静電気の影響　　　
　1.　はじめに　　
　2.　クリーンルーム内の帯電の実態　　
　3.　ESDによるデバイス破壊　　
　4.　帯電ウエハへの浮遊粒子の付着　　
　　　4.1　帯電ウエハへの粒子付着実験及び理論計算
　　　4.2　帯電ウエハへの粒子付着におけるイオン濃度の影響
　5.　イオンによるウエハの中和　　
　　　5.1　イオン濃度とウエハ中和速度
　　　5.2　イオン発生と発塵
　　　5.3　イオンの寿命
　　　5.4　イオンの組成
　6.　むすび　　
第8節　防塵衣　　　
　1.　はじめに　　
　2.　防塵衣の構成　　
　3.　発塵量の評価　　
　　　3.1　総発塵量の測定方法
　　　3.2　局所塵埃濃度の測定方法
　　　3.3　付着塵埃の測定方法
　4.　結果とその検討　　
　　　4.1　発塵部位の把握
　　　4.2　発塵量低減方法の検討
　　　4.3　防塵衣の試作
　　　4.4　防塵衣の管理方法の検討
　5.　協力者　　
　6.　緒言　　
　　　6.1　結論
　　　6.2　今後の課題
第3章　薬品システム　　　
第1節　薬品自動供給システム　　　
　はじめに　　
　1.　半導体用薬品の概要　　
　　　1.1　薬品
　　　1.2　フィルター
　　　1.3　薬品充填容器
　　　1.4　評価技術
　　　1.5　薬品自動供給システム
　2.　薬品自動供給システムの歴史及び現状　　
　　　2.1　半導体用薬品
　　　2.2　薬品自動供給システム
　　　2.3　薬品自動供給システムの現状
　3.　供給装置, 部品, 材料について　　
　　　3.1　薬品自動供給システムの目的及び設計概念
　　　3.2　薬品自動供給システムの基本プロセス
　　　3.3　N2ガス圧送方式とポンプ方式の比較
　　　3.4　薬品供給装置の説明
　　　3.5　薬品自動供給システムの選定条件
　　　3.6　フィルター
　　　3.7　ワンタッチカプラ
　　　3.8　薬品配管
　4.　薬品運搬容器の材料及び形態について　　
　5.　薬品自動供給システムの今後の課題　　
第2節　化学薬品を取り扱うコンポーネント(ふっ素樹脂製)と高温薬品循環濾過システ
ム　　　
　1.　はじめに　　
　2.　コンポーネント　　
　　　2.1　コンポーネントの条件
　　　2.2　ふっ素樹脂の素材
　　　2.3　フィッティング
　　　2.4　バルブ
　　　2.5　ポンプ
　3.　高温薬品循環濾過システム(NISONシリーズ)　　
　　　3.1　システムの特徴
　　　3.2　主なコンポーネント
　　　3.3　プロセスへの応用
　4.　むすび　　
第3節　化学薬品用容器　　　
　1.　はじめに　　
　2.　容器評価技術　　
　　　2.1　フッ化水素酸の純度
　3.　化学薬品用容器の評価　　
　　　3.1　材質評価
　　　3.2　保管温度による影響
　　　3.3　輸送による粒子への影響
　4.　化学薬品用容器の加工評価　　
　　　4.1　ブロー雰囲気の影響
　　　4.2　ブロー温度の影響
　　　4.3　添加剤の影響
　　　4.4　キャップの閉めトルクの影響
　　　4.5　形状の影響
　5.　むすび